VACUUM CHAMBER AND METHOD FOR OPERATING A VACUUM CHAMBER

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Vakuumkammer (1) mit einer Beschichtungsquelle unter Verwendung von einer oder mehreren Verteilungsblenden (115), die in einer Arbeitsposition (110) in einem Arbeitsbereich (101) innerhalb der Vakuumkammer (1) angeordnet werden, mit den Schritten (i) Bereitstellen (S100) einer Verteilungsblende (115) in einem Bereitstellungsbereich (104); (ii) Transport (S102) der Verteilungsblende (115) vom Bereitstellungsbereich (104) zum Arbeitsbereich (101); (iii) Anordnen (S104) der Verteilungsblende (115) in der Arbeitsposition (110) (iv) Beschichten (S106) eines Substrats (130) mittels der Beschichtungsquelle; (v) Transport (S108) der Verteilungsblende (115) vom Arbeitsbereich (101) zu einem Ablagebereich (105); (vi) Ablegen (S110) der ersten Verteilungsblende (115) im Ablagebereich (105). Dabei erfolgen die Schritte (S100-S110) vom Bereitstellen (S100) bis zum Ablegen (S110) der Verteilungsblende (115) ohne Belüften der evakuierten Vakuumkammer (1). Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.