| 摘要 |
<p>결함 검사 방법은, 전자 초음파 탐촉자에 있어서 서로 인접하여 일부가 겹치도록 배열된 복수의 코일에 대해 고주파 신호를 부여하여, 검사 대상물에 초음파 진동을 발생시키는 제1 공정과; 상기 초음파 진동의 B 에코를 상기 복수의 코일의 각각에서 수신하는 제2 공정과; 상기 초음파 진동의 F 에코를 상기 복수의 코일의 각각에서 수신하는 제3 공정과; 상기 복수의 코일의 각각에서 수신된 상기 B 에코의 신호 강도를, 상기 복수의 코일의 가동 상태에 기초하여 보정하는 제4 공정과; 상기 F 에코의 신호 강도와 보정 후의 상기 B 에코의 신호 강도의 비율을, 상기 복수의 코일의 각각에 대해 계산하고, 그 계산 결과에 기초하여 상기 검사 대상물의 내부 결함을 평가하는 제5 공정;을 갖는다.</p> |
