| 摘要 |
Verfahren zur Qualitätsbestimmung oder Bestimmung einer Einflussgröße auf die Qualität einer Bondverbindung auf einem Substrat unter Einsatz eines Bondgerätes, das mit einem eingebauten Prüfwerkzeug mit einem Prüfwerkzeug-Antrieb und angeschlossener Niveau- und/oder Kraftmesseinrichtung ausgestattet ist, wobei zur Prüfung der Nachgiebigkeit eines vorbestimmten Abschnitts des Substrats der Prüfwerkzeug-Antrieb derart gesteuert wird, dass das Prüfwerkzeug mit definierter Antriebskraft auf das Substrat gedrückt wird, und mittels der Niveaumesseinrichtung eine zeitabhängige Erfassung der Z-Koordinate des Prüfwerkzeugs und/oder mittels der Kraftmesseinrichtung eine zeitabhängige Erfassung der effektiven Andruckkraft ausgeführt wird. |
