Mikromechanische Sensorvorrichtung

摘要

Mikromechanische Sensorvorrichtung (100), aufweisend: – eine erste ungehäuste Sensoreinrichung (10); und – wenigstens eine zweite ungehäuste Sensoreinrichtung (20), wobei die Sensoreinrichtungen (10, 20) miteinander funktional verbunden sind, wobei die Sensoreinrichtungen (10, 20) im Wesentlichen vertikal derart übereinander angeordnet sind, dass eine in der Grundfläche größere Sensoreinrichtung (10) eine in der Grundfläche kleinere Sensoreinrichtung (20) vollständig überdeckt.