掩膜板的制作方法

摘要

本发明提供一种掩膜板的制作方法，先采用电铸工艺或物理气相沉积工艺制作出初始掩膜板(3’)，该初始掩膜板(3’)具有多个呈阵列式排布的、开口尺寸等于蒸镀所需的设计开孔尺寸(W)的直孔通孔(31)；再采用化学刻蚀工艺，对初始掩膜板(3’)的下表面及直孔通孔(31)的内壁进行刻蚀，形成具有斜锥角(Φ)的曲线形凹槽(33)，该曲线形凹槽(33)的开口尺寸自下而上逐渐减小至蒸镀所需的设计开孔尺寸(W)，从而制作出掩膜板(3)，一方面能够提高蒸镀开孔的尺寸精度，一方面使蒸镀开孔具有设计需要的斜锥角，减少对蒸镀材料的遮挡，提高蒸镀效率，使掩膜板更符合制程要求。

主权项

一种掩膜板的制作方法，其特征在于，先采用电铸工艺或物理气相沉积工艺制作出初始掩膜板(3’)，该初始掩膜板(3’)具有多个呈阵列式排布的、开口尺寸等于蒸镀所需的设计开孔尺寸(W)的直孔通孔(31)；再采用化学刻蚀工艺，对初始掩膜板(3’)的下表面及直孔通孔(31)的内壁进行刻蚀，形成具有斜锥角(Φ)的曲线形凹槽(33)，该曲线形凹槽(33)的开口尺寸自下而上逐渐减小至蒸镀所需的设计开孔尺寸(W)，从而制作出掩膜板(3)。