基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法，包括如下步骤：a）采用LAO衬底，选取晶体取向，并对LAO衬底进行表面清洁处理；b）对LAO衬底进行退火处理，并在LAO衬底表面形成AlN籽晶层；c）在LAO衬底上采用金属有机化合物化学气相淀积依次形成非极性m面GaN缓冲层、非极性非掺杂u-GaN层、非极性n型掺杂GaN薄膜、非极性InGaN/GaN量子阱、非极性m面AlGaN电子阻挡层和非极性p型掺杂GaN薄膜。本发明提供的基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片及其制备方法，具有缺陷密度低、结晶质量好，发光性能好的优点，且制备成本低廉。

主权项

一种基于LAO衬底的非极性蓝光LED外延片，包括衬底，其特征在于，所述衬底为LAO衬底，所述LAO衬底上依次设置有缓冲层、第一非掺杂层、第一掺杂层、量子阱层、电子阻挡层和第二掺杂层。