可互换磁体组

摘要

一种溅射装置包括模板，该模板具有单元。可移除的插入物被设置在单元内。单元可以是圆形、三角形、正方形、菱形或六角形的。可移除的插入物可以是磁性或非磁性插入物。盖与模板的第一侧连接。轭与模板的第二侧连接。可移除的插入物用于定制靶上的磁场或调整靶上的磁场的形状。轭可用于为磁场提供返回路径。

主权项

一种装置，包括：包含多个单元的模板；设置在所述多个单元内的多个可移除插入物；可移除地与所述模板的第一侧连接的盖；以及可移除地与所述模板的第二侧连接的轭。