扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法

摘要

本发明涉及扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法。在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。

主权项

一种使用扫描型电子显微镜的试样的摄影方法，其特征在于，包含以下的步骤：输入试样上的多个评价点的坐标的步骤；决定由该多个评价点共有的至少一个摄影点的步骤；以及决定按照预定的顺序对该决定的摄影点和共有该摄影点的多个评价点进行摄影的摄影顺序的步骤，该摄影点是寻址点或自动聚焦点或自动标记点或自动亮度对比度点中的某一个。