发明名称 |
预湿用组合物 |
摘要 |
一种预湿用组合物,其为太阳能电池的制造方法中使用的预湿用组合物,所述预湿用组合物含有质子性的极性溶剂和水,其中所述太阳能电池的制造方法包括:第1涂布工序,在半导体制造用基板的一面旋涂预湿用组合物;第2涂布工序,在旋涂了所述预湿用组合物的所述一面旋涂包含具有第1杂质元素的扩散剂和溶剂的扩散材料,形成所述扩散剂的涂膜;和第1杂质层形成工序,对形成了所述涂膜的所述半导体制造用基板进行热处理,形成使所述扩散剂所具有的杂质元素扩散后的第1杂质层。 |
申请公布号 |
CN104600151A |
申请公布日期 |
2015.05.06 |
申请号 |
CN201410586962.X |
申请日期 |
2014.10.28 |
申请人 |
东京应化工业株式会社 |
发明人 |
谷津克也;大石诚士 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/22(2006.01)I;H01L31/04(2014.01)I;C09D5/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
蒋亭 |
主权项 |
一种预湿用组合物,其为太阳能电池的制造方法中使用的预湿用组合物,所述太阳能电池的制造方法包括:第1涂布工序,在半导体制造用基板的一面旋涂预湿用组合物;第2涂布工序,在旋涂了所述预湿用组合物的所述一面旋涂包含具有第1杂质元素的扩散剂和溶剂的扩散材料,形成所述扩散剂的涂膜;和第1杂质层形成工序,对形成了所述涂膜的所述半导体制造用基板进行热处理,形成使所述扩散剂所具有的杂质元素扩散后的第1杂质层,所述预湿用组合物含有质子性的极性溶剂和水。 |
地址 |
日本神奈川县 |