发明名称 预湿用组合物
摘要 一种预湿用组合物,其为太阳能电池的制造方法中使用的预湿用组合物,所述预湿用组合物含有质子性的极性溶剂和水,其中所述太阳能电池的制造方法包括:第1涂布工序,在半导体制造用基板的一面旋涂预湿用组合物;第2涂布工序,在旋涂了所述预湿用组合物的所述一面旋涂包含具有第1杂质元素的扩散剂和溶剂的扩散材料,形成所述扩散剂的涂膜;和第1杂质层形成工序,对形成了所述涂膜的所述半导体制造用基板进行热处理,形成使所述扩散剂所具有的杂质元素扩散后的第1杂质层。
申请公布号 CN104600151A 申请公布日期 2015.05.06
申请号 CN201410586962.X 申请日期 2014.10.28
申请人 东京应化工业株式会社 发明人 谷津克也;大石诚士
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/22(2006.01)I;H01L31/04(2014.01)I;C09D5/00(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 蒋亭
主权项 一种预湿用组合物,其为太阳能电池的制造方法中使用的预湿用组合物,所述太阳能电池的制造方法包括:第1涂布工序,在半导体制造用基板的一面旋涂预湿用组合物;第2涂布工序,在旋涂了所述预湿用组合物的所述一面旋涂包含具有第1杂质元素的扩散剂和溶剂的扩散材料,形成所述扩散剂的涂膜;和第1杂质层形成工序,对形成了所述涂膜的所述半导体制造用基板进行热处理,形成使所述扩散剂所具有的杂质元素扩散后的第1杂质层,所述预湿用组合物含有质子性的极性溶剂和水。
地址 日本神奈川县
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