| 发明名称 | 光阻剥离装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种光阻剥离装置，包括剥离槽、所述剥离槽的上方设置有治具架，所述治具架上设置有多个用于固定圆片的圆片治具，至少所述圆片治具的下部位于所述剥离槽中，靠近每一所述圆片治具用于固定圆片的一侧均设置有一个搅拌栅板，所述搅拌栅板沿竖直方向滑动设置于所述剥离槽内。该光阻剥离装置既能避免长时间浸泡剥离液对底材的攻击，又能提高去除光阻的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204314609U | 申请公布日期 | 2015.05.06 |
| 申请号 | CN201420677509.5 | 申请日期 | 2014.11.13 |
| 申请人 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 发明人 | 徐小锋 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人 | 孟阿妮;郭栋梁 |
| 主权项 | 一种光阻剥离装置，包括剥离槽、所述剥离槽的上方设置有治具架，所述治具架上设置有多个用于固定圆片的圆片治具，至少所述圆片治具的下部位于所述剥离槽中，其特征在于，靠近每一所述圆片治具用于固定圆片的一侧均设置有一个搅拌栅板，所述搅拌栅板沿竖直方向滑动设置于所述剥离槽内。 | ||
| 地址 | 226006 江苏省南通市崇川区崇川路288号 | ||