平面类光学元件胶结方法

摘要

本发明公开了一种平面类光学元件胶结方法，包括以下步骤：将平面光学元件安装到镂空定位槽中并定位；固定连接件于调整夹具中；架设光学监视系统；取下连接件，做表面处理、涂胶；利用调整夹具调整连接件位姿，并通过光学监视系统全程观测，实现对平面光学元件与胶结连接件间相对位置关系精密调整、胶层厚度及均匀性精密控制，通过本发明方法完成的多点胶结应力均匀、厚度一致性高、胶层均匀，光学元件附加面形不超过100nm，对光学元件性能影响极小。对粘性流体胶水厚度实现了连续控制，且操作简单。

主权项

一种平面类光学元件胶结方法，其特征在于，包含以下步骤：步骤1，定位平面光学元件(2)，将所述平面光学元件(2)安装到定位板(3)上的镂空定位槽(31)内，所述镂空定位槽(31)为方形槽状结构，具有水平的底面和垂直于该底面的侧壁，设定任意两正交侧壁为定位面，以定位面交点为零位，分别在长宽方向刻画刻度线；步骤2，固定连接件(1)，将所述连接件(1)固定到连调整夹具(4)上，该调整夹具(4)相对于定位板(3)具有水平及竖直方向的平移、角度调整自由度，所述调整夹具(4)上刻画有与定位板(3)上的刻度线相平行的十字形夹具刻线，调整位姿，使连接件(1)与平面光学元件(2)初步垂直；步骤3，架设光学监视系统(5)，所述光学监视系统(5)包括光学镜头(51)和电荷耦合元件(52)，调整所述光学镜头(51)，使连接件(1)与平面光学元件(2)的胶结面在电荷耦合元件(52)内清晰成像，保存图像，记录连接件(1)当前位置；步骤4，连接件(1)表面处理、涂胶，将所述连接件(1)取下，做表面处理，之后在其胶结面涂胶，再重新安装于调整夹具(4)内；步骤5，连接件(1)横向定位及位姿调整，以定位板(3)上的刻度线和夹具刻线为参考，移动调整夹具(4)，使连接件(1)到达预定位置，利用调整夹具(4)调整连接件(1)的上下位移及角度；步骤6，实时监控，通过光学监视系统(5)的倍率关系及电荷耦合元件(52)像元大小当量，计算当前连接件(1)与平面光学元件(2)间的间距，达到精确控制胶层厚度的目的；步骤7，完成胶结，待胶水固化后，松动调整夹具(4)使其与连接件(1)脱离，即可整体取出粘合好的平面光学元件(2)，完成胶结。