发明名称 |
一种N型射频横向双扩散金属氧化物半导体器件 |
摘要 |
一种N型射频横向双扩散金属氧化物半导体器件,包括:P型衬底、P型外延层,在P型外延层中形成有N型轻掺杂漏区和P阱,P阱的一侧和所述N型轻掺杂漏区的一侧相接触;在所述N型轻掺杂漏区中形成有N型重掺杂漏区;在所述P阱中形成有N型重掺杂源区,在P阱的另一侧形成有P型重掺杂引出区,P型重掺杂引出区穿过P型外延层与P型硅衬底相接触;在P阱上形成有栅氧化层,且栅氧化层的两个边界分别位于N型重掺杂源区及N型轻掺杂漏区的边界上方;在P型重掺杂引出区和N型重掺杂源区上连接有源极金属,在N型重掺杂漏区上连接有漏极金属,其特征在于,所述栅氧化层为阶梯状,在栅氧化层的下方设有N型掺杂区且所述N型掺杂区位于P阱中。 |
申请公布号 |
CN104600098A |
申请公布日期 |
2015.05.06 |
申请号 |
CN201510021811.4 |
申请日期 |
2015.01.15 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
孙伟锋;马荣晶;周雷雷;张艺;张春伟;刘斯扬;陆生礼;时龙兴 |
分类号 |
H01L29/06(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/06(2006.01)I |
代理机构 |
江苏永衡昭辉律师事务所 32250 |
代理人 |
王斌 |
主权项 |
一种N型射频横向双扩散金属氧化物半导体器件,包括:P型衬底(1),在P型硅衬底(1)上形成有P型外延层(2);在P型外延层(2)中形成有N型轻掺杂漏区(3)和P阱(4),且P阱(4)在所述N型轻掺杂漏区(3)的一侧,P阱(4)的一侧和所述N型轻掺杂漏区(3)的一侧相接触,在所述N型轻掺杂漏区(3)中形成有第一N型重掺杂漏区(5);在所述P阱(4)中形成有第二N型重掺杂源区(6),在P阱(4)的另一侧形成有P型重掺杂引出区(7),P型重掺杂引出区(7)与N型重掺杂源区(6)和P阱(4)相接触,并穿过P型外延层(2)与P型硅衬底(1)相接触;在P阱(4)上形成有栅氧化层(8),且栅氧化层(8)的两个边界分别位于N型重掺杂源区(6)的边界及N型轻掺杂漏区(3)的边界上方,在栅氧化层(8)的表面形成有多晶硅栅(9);在P型重掺杂引出区(7)和N型重掺杂源区(6)上连接有源极金属(11),在N型重掺杂漏区(5)上连接有漏极金属(12),源极金属(11)和漏极金属(12)分别通过场氧(10)与多晶硅栅(9)相隔离,其特征在于,所述栅氧化层(8)为阶梯状,在栅氧化层(8)的下方设有N型掺杂区(13)且所述N型掺杂区(13)位于P阱(4)中。 |
地址 |
214135 江苏省无锡市新区菱湖大道99号 |