| 发明名称 | 靶材的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种靶材的制作方法，包括：提供第一靶材坯料；对所述第一靶材坯料进行锻打，形成第二靶材坯料；对所述第二靶材坯料进行静压，形成第三靶材坯料；对所述第三靶材坯料进行压延，形成第四靶材坯料；对所述第四靶材坯料进行热处理，形成靶材。采用本发明的技术方案，可以节省现有技术中锻打后的第一热处理、静压后的第二热处理步骤，因此，简化了工艺流程、降低了生产成本、提高了生产效率。同时产品质量也得到保证。从而提高了溅镀速度、进而提高了基片上所镀膜层的质量。 | ||
| 申请公布号 | CN104593719A | 申请公布日期 | 2015.05.06 |
| 申请号 | CN201310530633.9 | 申请日期 | 2013.10.30 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张金林 |
| 分类号 | C23C14/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 张亚利;骆苏华 |
| 主权项 | 一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供第一靶材坯料；对所述第一靶材坯料进行锻打，形成第二靶材坯料；对所述第二靶材坯料进行静压，形成第三靶材坯料；对所述第三靶材坯料进行压延，形成第四靶材坯料；对所述第四靶材坯料进行热处理，形成靶材。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号 | ||