用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜

摘要

本发明涉及一种用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其包括外围框架、设置在外围框架内的内框架、连接外围框架和内框架的竖直扫描扭转梁、设置在内框架内的微反射镜及一对磁体，外围框架具有悬臂，内框架通过竖直扫描扭转梁连接至外围框架的悬臂上，悬臂上设置有悬臂驱动线圈，内框架上设置有内框架驱动线圈，一对磁体分别相对设置在悬臂的两侧，磁体所产生的磁感线垂直于悬臂驱动线圈、内框架驱动线圈通电后的电流方向，该微镜实现两个方向扫描的两组驱动线圈独立控制，降低两个方向间的相互干扰，容易获得较大的扭转角度，另外可提高磁场利用率，简化了驱动方案。

主权项

一种用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：包括外围框架、设置在外围框架内的内框架、连接所述外围框架和内框架的竖直扫描扭转梁、设置在所述内框架内的微反射镜及一对磁体，所述外围框架具有悬臂，所述内框架通过竖直扫描扭转梁连接至外围框架的悬臂上，所述悬臂上设置有悬臂驱动线圈，所述内框架上设置有内框架驱动线圈，所述一对磁体分别相对设置在悬臂的两侧，所述磁体所产生的磁感线垂直于悬臂驱动线圈、内框架驱动线圈通电后的电流方向。