电容测量

摘要

差分放大器具有输出和差分第一和第二输入。布置于传感器电极和第二输入之间的开关被打开以发起复位阶段，其中传感器电极和差分放大器被解耦。使布置于第二输入和输出之间的反馈电容复位至第一电平电荷。开关被闭合来发起测量阶段，其中第二输入与传感器电极被耦合。在测量阶段：电荷在传感器电极和反馈电容之间平衡，使得传感器电极电压等于第一输入的电压，等于第二输入的电压，并且传感器电极充电；以及差分放大器用于对传感器电极上的电荷进行积分，使得绝对电容被测量。

主权项

一种使用具有输出和差分第一和第二输入的差分放大器的电容测量方法，所述方法包括：　　打开布置于传感器电极和所述差分放大器的所述第二输入之间的开关来发起复位阶段，其中所述传感器电极和所述差分放大器被解耦；　　复位反馈电容至第一电平电荷，所述反馈电容布置于所述第二输入和所述输出之间；　　闭合所述开关来发起测量阶段，其中所述第二输入和所述传感器电极被耦合，所述测量阶段包括：　　　　平衡所述传感器电极和所述反馈电容之间的电荷，使得传感器电极电压等于所述第一输入的电压，等于所述第二输入的电压，并且所述传感器电极充电至与其电容及所述第二输入的所述电压成比例的值；以及　　　　使用所述差分放大器对所述传感器电极上的电荷进行积分，使得绝对电容被测量。