图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘

摘要

本实用新型公开了一种图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其包括有：一承载盘贯穿有至少一容置口，且该承载盘于容置口设有多个接触点与一结合段，一托盘组设于承载盘的容置口处，且该托盘凸出设有一密封垫圈，借由密封垫圈与接触点形成对晶圆的夹设，又该托盘外缘凹设有一内凹部，并于内凹部装设有一呈凸出状的弹力圈，一迫紧件系设置于托盘的内凹部，且该迫紧件的外周缘形成有一结合部，又该迫紧件的结合部以旋入方式连结于承载盘的结合段，令迫紧件挤压于弹力圈，通过弹力圈的适度弹性变形，而形成托盘的平均受力，俾以提高托盘与晶圆之间的气密性。

主权项

一种图案化蓝宝石基板的蚀刻制程用承载盘，其特征在于，包括有： 一承载盘，该承载盘为石英材质所一体成型，且该承载盘具有一上端面与一下端面，又该贯穿该上、下端面有至少一容置口，且该承载盘于上端面向容置口中心凸设有多个接触点，另该承载盘于邻近下端面的容置口内周缘形成有一结合段； 一托盘，该托盘为铝合金材质所制成，该托盘组设于承载盘的容置口处，且该托盘朝向承载盘的上端面形成有一平整面，并于平整面的周缘处凹设有一槽沟，而该槽沟处装设有一凸出平整面的密封垫圈，借由托盘的密封垫圈与承载盘的接触点形成对晶圆的夹设固定，且该托盘于朝向承载盘的下端面的外缘凹设有一内凹部，并于内凹部的底面开设有一环槽，且于环槽处装设有一呈凸出状的弹力圈；以及 一迫紧件，该迫紧件设置于托盘的内凹部，且该迫紧件的外周缘形成有一结合部，又该迫紧件的结合部以旋入方式连结于承载盘的结合段，令迫紧件挤压于弹力圈。