一种纳米级薄膜样品测试仪

摘要

本发明公开了一种纳米级薄膜样品测试仪，包括反射机构和温度控制机构，所述反射机构包括偏振片、第一反射镜、第二反射镜；所述温度控制机构包括热台、制冷片、冷却水块、红外测温传感器，热台与红外测温传感器通过导线与温控器相连；红外测温传感器通过传感器支架置于热台上方，制冷片、冷却水块叠置放置于热台下方；热台通过可调节的热台支架安装在底座上；偏振片、第一反射镜、第二反射镜分别通过旋转部固定在相应支架上。本发明采用不与测量物品直接接触的红外测温传感器测量温度特性，且热台的高度、反射镜的角度、偏振片的角度均可调节，可随意调节，有利于测量光线的调节，测量效果好。

主权项

一种纳米级薄膜样品测试仪，包括反射机构和温度控制机构，其特征在于，所述反射机构包括位于样品入射光方向的偏振片（2）和第一反射镜（3）、位于样品出射光方向的第二反射镜（12）；所述温度控制机构包括热台（8）、制冷片（9）、冷却水块（10）、红外测温传感器（6），其中热台（8）内部设置加热装置，热台（8）与红外测温传感器（6）通过导线与温控器相连；红外测温传感器（6）通过传感器支架（5）置于热台（8）上方，制冷片（9）、冷却水块（10）叠置放置于热台（8）下方；热台（8）通过可调节的热台支架（15）安装在底座（1）上；偏振片（2）、第一反射镜（3）、第二反射镜（10）分别通过旋转部（13）固定在相应支架上。