| 发明名称 | 一种单晶硅清洗装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种单晶硅清洗装置，包括依次设置的第一水槽、超声槽、第二水槽、第三水槽、第四水槽、第五水槽，所述第二水槽以及第三水槽内设置有加热器，每个加热器上分别连接一温控板，所述第二水槽以及第三水槽上分别设置冷水循环管和贮水槽，所述冷水循环管与贮水槽相连接。本实用新型所述单晶硅清洗装置通过超声槽以及水温的控制，提高了单晶硅的清洗效果。 | ||
| 申请公布号 | CN204315530U | 申请公布日期 | 2015.05.06 |
| 申请号 | CN201420780632.X | 申请日期 | 2014.12.12 |
| 申请人 | 江西豪安能源科技有限公司 | 发明人 | 张忠安 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 贵阳天圣知识产权代理有限公司 52107 | 代理人 | 杜胜雄 |
| 主权项 | 一种单晶硅清洗装置，其特征在于，包括依次设置的第一水槽、超声槽、第二水槽、第三水槽、第四水槽、第五水槽，所述第二水槽以及第三水槽内设置有加热器，每个加热器上分别连接一温控板，所述第二水槽以及第三水槽上分别设置冷水循环管和贮水槽，所述冷水循环管与贮水槽相连接。 | ||
| 地址 | 330000 江西省南昌市安义县凤凰山工业园区 | ||