晶体生长炉电源用水循环装置

摘要

本发明涉及晶体生长炉电源用水循环装置，包括：内循环纯水冷却装置、外循环水冷却装置、热交换装置，所述内循环纯水冷却装置的水路与热交换装置的容水器组成水路的联通器，在热交换装置的容水器内部设置有外循环水冷却装置的冷凝器，冷凝器的水路与热交换装置的容水器是相互隔离的；晶体炉电源的内部水路、内循环纯水冷却装置、热交换装置的容水器构成一个封闭的内循环纯水系统，外循环水冷却装置的水路自身为一个封闭的外循环水系统。其可广泛应用于晶体生长炉电源等可靠性要求高、需要长时间提供水冷却的各种电源设备。

主权项

晶体生长炉电源用水循环装置，包括：内循环纯水冷却装置、外循环水冷却装置、热交换装置，其特征在于：所述内循环纯水冷却装置的水路与热交换装置的容水器组成水路的联通器，在热交换装置的容水器内部设置有外循环水冷却装置的冷凝器，冷凝器的水路与热交换装置的容水器是相互隔离的；晶体炉电源的内部水路、内循环纯水冷却装置、热交换装置的容水器构成一个封闭的内循环纯水系统，外循环水冷却装置的水路自身为一个封闭的外循环水系统；晶体炉电源工作时产生的热量由内循环纯水系统带至热交换装置的容水器内，容水器内的热量再由设置在容水器内的外循环水冷却装置的冷凝器通过流经冷凝器的水将热量带至外循环冷却系统进行冷却。