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<p>일 실시예는 복수의 자석, 및 상기 복수의 자석을 적어도 4개의 직선의, 평행한, 독립적인 선형 어레이로 홀딩하도록 구성된 요크를 포함하는 마그네트론 조립체에 관한 것이다. 상기 복수의 자석은 외부 부분과 내부 부분을 포함하는 패턴을 형성하도록 상기 요크에 배열되고, 상기 외부 부분은 상기 내부 부분의 주변을 실질적으로 둘러싼다. 상기 선형 어레이의 단부 부분들은 한 쌍의 턴어라운드 구획을 포함하고, 각 턴어라운드 구획은 상기 외부 부분의 한 쌍의 세장형 구획의 각 단부에 실질적으로 걸쳐 있다. 각 턴어라운드 구획에서 자석은 타깃 회전축을 따라 각각으로부터 오프셋된 적어도 2개 이상의 상이한 곡선을 자기장에 형성하도록 배열된다.</p> |
