SEM成像方法

摘要

本发明涉及SEM成像方法。一种使用扫描电镜法研究样品的方法，包含以下步骤：－在多个（N个）测量会话中使用探测电子束照射样品的表面（S），每个测量会话具有相关联的束参数（P）值，该束参数值选自于一系列这样的值且在测量会话之间不同；－在每个测量会话期间检测样品发射的激励辐射，将被测对象（M）与其关联且记录用于每次测量会话的该被测对象的值，因而允许数据对（P_i,M_i）的数据集（D）的汇编，其中1≤i≤N，其中：－采用统计盲源分离技术来自动处理数据集（D）且空间地将其分解为成像对(Q_k,L_k)的结果集（R），其中具有值Q_k的成像量（Q）与参考表面S的离散深度水平L_k相关。

主权项

一种使用扫描电镜法研究样品的方法，包含以下步骤：－在多个（N个）测量会话中使用探测电子束来照射样品的表面（S），每个测量会话具有相关联的束参数（P）值，该束参数值选自一系列这样的值且在测量会话之间不同；－在每个测量会话期间检测样品发射的激励辐射，将被测对象（M）与其关联且记录用于每次测量会话的该被测对象的值，因而允许数据对（P_i, M_i）的数据集（D）的汇编，其中1 ≤ i ≤ N，其特征在于：－采用统计盲源分离技术来自动处理数据集（D）且空间地将其分解为成像对(Q_k, L_k)的结果集（R），其中具有值Q_k的成像量（Q）与参考表面S的离散深度水平L_k相关联。