P型掺杂薄膜的制备方法及有机电致发光器件的制备方法

摘要

本发明涉及一种P型掺杂薄膜的制备方法及一种有机电致发光器件的制备方法。该P型掺杂薄膜的制备方法包括提供衬底及采用真空蒸镀共蒸一个有机主体材料蒸发源和两个无机P型掺杂剂蒸发源，在所述衬底上形成P型掺杂薄膜的步骤。上述P型掺杂薄膜的制备方法采用三源共蒸制备种P型掺杂薄膜，由于采用两个无机P型掺杂剂蒸发源，使得每个无机P型掺杂剂的蒸发速度可以降低至使用一个蒸发源时的1/2，使得单个无机P型掺杂剂蒸发源的所需的蒸发热量较少，对有机主体材料蒸发源的影响较小，有利于避免有机主体材料的降解，因而能够较为精确地控制P型掺杂薄膜中的无机P型掺杂剂的掺杂比例。

主权项

一种P型掺杂薄膜制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供衬底；及采用真空蒸镀共蒸一个有机主体材料蒸发源和两个无机P型掺杂剂蒸发源，在所述衬底上形成P型掺杂薄膜；其中，所述有机主体材料蒸发源的有机主体材料为N,N'‑二苯基‑N,N'‑二(1‑萘基)‑1,1'‑联苯‑4,4'‑二胺、4,4',4″‑三(N‑3‑甲基苯基‑N‑苯基氨基)三苯胺、N,N'‑二苯基‑N,N'‑二(3‑甲基苯基)‑1,1'‑联苯‑4,4'‑二胺或N,N,N',N’‑四甲氧基苯基)‑对二氨基联苯；所述无机P型掺杂剂蒸发源的无机P型掺杂剂优选为三氧化钨、五氧化二钒、三氧化钼或三氧化铼。