Flow sensor for monitoring a flow parameter and method of determining the same

摘要

In Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung ist ein Strömungssensor zur Bestimmung eines Strömungsparameters eines Fluides gezeigt, mit einem Sensorchip, der mindestens ein thermisches Membransensorelement aufweist, das ausgebildet ist, um den Strömungsparameter des Fluides in einem Messbereich zu bestimmen oder um eine Fluidtemperatur des Fluides zu bestimmen, wobei das thermische Membransensorelement zwei zueinander beabstandete Thermoelementübergänge und ein zwischen den Thermoelementübergängen angeordnetes Heizelement aufweist, und wobei der Sensorchip ausgebildet ist, um beim Betrieb des Strömungssensors als freistehender Sensorfinger von dem Fluid umströmt zu werden, wobei der Sensorchip ein zweites thermisches Membransensorelement aufweist, das ausgebildet ist, um den Strömungsparameter des Fluides in einem zweiten Messbereich zu bestimmen oder um eine Fluidtemperatur des Fluides zu bestimmen, wobei das zweite thermische Membransensorelement zwei beabstandete Thermoelementübergänge und ein zwischen den Thermoelementübergängen angeordnetes Heizelement aufweist, und wobei ein Abstand D1 der zwei Thermoelementübergänge des ersten thermischen Membransensorelements zu dem dazwischen angeordneten Heizelement unterschiedlich ist zu einem Abstand D2 der zwei Thermoelementübergänge des zweiten thermischen Membransensorelements von dem dazwischen angeordneten Heizelement.