| 发明名称 | 基板清洗装置和使用其清洗基板的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及基板清洗装置和使用其清洗基板的方法。该基板清洗装置包括护罩，其包括顶板和从顶板向下延伸的侧壁，设置在护罩内的喷水器。护罩和喷水器的宽度覆盖了基板的宽度，并且侧壁延伸到基板表面附近。在使用根据本发明的基板清洗装置清洗基板时，外界环境中的水滴不会滴落到基板上，从而避免了基板出现蚀刻程度不同的状况，并且由此避免了液晶面板出现不可修复的斑点的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN104588351A | 申请公布日期 | 2015.05.06 |
| 申请号 | CN201410719858.3 | 申请日期 | 2014.12.02 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 邓海峰 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人 | 吴大建;刘华联 |
| 主权项 | 一种基板清洗装置，包括：护罩，所述护罩包括顶板和从所述顶板向下延伸的侧壁，设置在所述护罩内的喷水器，其中，所述护罩和所述喷水器的宽度覆盖了所述基板的宽度，并且所述侧壁延伸到所述基板表面附近。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 | ||