发明名称 |
薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置 |
摘要 |
本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示面板和显示装置,该薄膜晶体管阵列基板包括衬底基板以及设置于衬底基板上的栅电极、栅绝缘层、有源层、源漏电极、数据线和像素电极,所述有源层为氧化物半导体有源层,所述源漏电极、数据线和像素电极同层同材料设置,且所述源漏电极与所述有源层直接接触。与现有技术相比,本发明的氧化物半导体薄膜晶体管阵列基板在制备过程中能够减少工艺流程,提高生产效率,节约生产成本。 |
申请公布号 |
CN104600083A |
申请公布日期 |
2015.05.06 |
申请号 |
CN201510046638.3 |
申请日期 |
2015.01.29 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
高涛 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
许静;黄灿 |
主权项 |
一种薄膜晶体管阵列基板,包括衬底基板以及设置于衬底基板上的栅电极、栅绝缘层、有源层、源漏电极、数据线和像素电极,所述有源层为氧化物半导体有源层,其特征在于,所述源漏电极、数据线和像素电极同层同材料设置,且所述源漏电极与所述有源层直接接触。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |