一种用于生产多晶硅的高效坩埚的装料方法

摘要

本发明提供了一种生产多晶硅的高效坩埚的装料方法，包括步骤A)：筛选尺寸在3～12mm的碎硅料，酸洗后漂洗至无酸残留，干燥，分包得到铺底料a；分选厚度在3～5cm，尺寸在156mm*156mm的回收料，每5块放一个包装，得到铺底料b；步骤B)：在高效坩埚底部撒一层铺底料a，铺上铺底料b；步骤C)：用边皮回收料铺在高效坩埚四周，将晶砖状硅料、棒状硅料等堆放在边皮回收料内侧，将块状及其他更小尺寸的硅料装填在所述晶砖回收料等形成的空间内，依次往上，直至装料结束。使用本方法装料，在铸锭过程中，不需用冷冲击急冷成核，也能够很容易地得到具有均匀一致小晶粒的高质量多晶硅锭。

主权项

一种用于生产多晶硅的高效坩埚的装料方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤A)：筛选长度为3～12mm的碎硅料，经过酸洗后漂洗至无酸残留，干燥，得到铺底料a；分选厚度在3～5cm，尺寸在156mm×156mm的硅料，得到铺底料b；步骤B)：在高效坩埚底部均匀撒一层上述铺底料a，直至不能目视到高效坩埚底部涂层为止，然后将上述铺底料b铺在铺底料a之上，铺底料b的硅料之间不留缝隙；步骤C)：将边皮回收料铺在高效坩埚四周，然后将晶砖回收料、头尾回收料或棒料堆放在边皮回收料内侧，将块料或碎料装填在所述晶砖回收料、头尾回收料或棒料形成的空间内，依次往上，直至坩埚装满。