检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统

摘要

本发明实施例公开了一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统。所述方法包括：根据MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合开环频率特性；将所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性与理想状态下的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性进行比较，确定所述MEMS加速度传感器芯片的结构是否存在问题。根据所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性测试数据计算得到所述MEMS加速度传感器芯片的开环传递函数的极点和零点值。根据本发明实施例，可以确定微电子机械系统加速度传感器芯片的开环传递函数，根据此特性可判定MEMS加速度传感器芯片是否满足误差允许范围，并可指导设计MEMS加速度传感器的闭环控制系统。

主权项

一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法，其特征在于，包括：根据微电子机械系统MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性；其中，所述输入信号为对输入到所述MEMS加速度传感器芯片的振动变化量进行转换后所得到的电压信号，所述输出信号为对所述MEMS加速度传感器芯片输出的电容变化量进行转换后所得到的电压信号；将所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性与理想状态下的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性进行比较，确定所述MEMS加速度传感器芯片的结构是否存在问题；其中，施加在所述MEMS加速度传感器芯片的上下两个固定电极的驱动电压为时钟信号，并且，在一个时钟周期的第一个时间段内，向所述MEMS加速度传感器芯片的上下两个固定电极上分别施加正向驱动电压和负向驱动电压，在一个时钟周期的第二个时间段内，向所述MEMS加速度传感器芯片的上下固定电极施加的驱动电压为零。