| 发明名称 |
TEST BOARD WITH LOCAL THERMAL CONDITIONING ELEMENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2867686(A1) |
申请公布日期 |
2015.05.06 |
| 申请号 |
EP20130739629 |
申请日期 |
2013.06.28 |
| 申请人 |
ELES SEMICONDUCTOR EQUIPMENT S.P.A. |
发明人 |
SCOCCHETTI, FABRIZIO |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R1/04;G01R31/319 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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