角速度传感器、电子设备以及移动体

摘要

本发明提供一种即使受到了绕检测轴的旋转振动的情况下，也能够抑制由该旋转振动而引起的输出的变动的角速度传感器，此外，本发明还提供一种具备所涉及的角速度传感器并具有优异的可靠性的电子设备以及移动体。本发明的角速度传感器在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着梁部(223～226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的第一旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]，将与第一旋转振动模式为反相、且随着梁部(223～226)的变形而基部(21)相对于固定部(221、222)而绕检测轴进行旋转振动的第二旋转振动模式的谐振频率设为f4[Hz]时，满足f1＜f2＜f3＜f4的关系，或者，满足f1＜f2＜f4＜f3的关系。

主权项

一种角速度传感器，其特征在于，具备：固定部；基部；支承部，其将所述基部相对于所述固定部而进行支承；振动部，其连接于所述基部；检测部，其连接于所述基部，并通过与绕检测轴的角速度相对应的科里奥利力的作用而进行振动，在将检测频带的宽度设为f1[Hz]，将随着所述支承部的变形而所述基部相对于所述固定部而绕所述检测轴进行旋转振动的第一旋转振动模式的谐振频率设为f2[Hz]，将偏移频率设为f3[Hz]，将与所述第一旋转振动模式为反相、且随着所述支承部的变形而所述基部相对于所述固定部而所述绕检测轴进行旋转振动的第二旋转振动模式的谐振频率设为f4[Hz]时，满足f1＜f2＜f3＜f4的关系，或者，满足f1＜f2＜f4＜f3的关系。