三通切换阀

摘要

本发明涉及三通切换阀。提供一种三通切换阀，其使流路的切换高速化，实现精度高的校正，并且振动、冲击少，寿命长且廉价。三通切换阀具备：流入口，其连接于气体用基准流量计且从气体用基准流量计引入气体；排出口，其排出从流入口引入的气体；定积槽连接口，其连接于定积槽且将从流入口引入的气体供给到定积槽；第一气缸，其进行排出口的开闭；以及第二气缸，其进行定积槽连接口的开闭，通过第一气缸与第二气缸独立地进行开闭动作，从而切换从流入口到排出口的流路和从流入口到定积槽连接口的流路。

主权项

一种三通切换阀，其在使用定积槽来校正气体用基准流量计时，配置于从所述气体用基准流量计到所述定积槽的流路，其特征在于，具备：流入口，其连接于所述气体用基准流量计且从该气体用基准流量计引入气体；排出口，其排出从该流入口引入的气体；定积槽连接口，其连接于所述定积槽且将从所述流入口引入的气体供给到所述定积槽；第一致动器，其进行所述排出口的开闭；以及第二致动器，其进行所述定积槽连接口的开闭，通过所述第一致动器与所述第二致动器独立地进行开闭动作，从而切换从所述流入口到所述排出口的流路和从所述流入口到所述定积槽连接口的流路。