用于校准加速度传感器的方法和加速度传感器

摘要

本发明提出用于校准加速度传感器的方法和加速度传感器，该加速度传感器具有衬底和振动质量，其中，该加速度传感器在第一侧面上具有固定在衬底上的第一和另外的第一电极，在第一和另外的第一电极之间设有振动质量的反电极，其中，该加速度传感器在第二侧面上具有另外的第二电极并且在与第二侧面相对置的第四侧面具有另外的第四电极，其中，在第一步骤中将基本上相同的第一激励电压施加到第一和另外的第一电极上以激励出振动质量沿着第一方向的第一偏移，其中，在第二步骤中通过将第一补偿电压施加到另外的第二和另外的第四电极上来补偿该第一偏移。

主权项

用于校准加速度传感器(11)的方法，所述加速度传感器(11)具有衬底(12)和振动质量(13)，其中，所述加速度传感器(11)在第一侧面(10)上具有固定在所述衬底(12)上的第一和另外的第一电极(1，1’)，其中，在所述第一和另外的第一电极(1，1’)之间设有所述振动质量(13)的反电极(14)，其中，所述加速度传感器(11)在第二侧面(20)上具有另外的第二电极(2’)并且在与所述第二侧面(20)相对置的第四侧面(40)上具有另外的第四电极(4’)，其特征在于，在第一步骤中将相同的第一激励电压施加到所述第一和另外的第一电极(1，1’)上以激励出所述振动质量(13)沿着一第一方向(110)的第一偏移，其中，在第二步骤中通过将第一补偿电压施加到所述另外的第二和另外的第四电极(2’，4’)上来补偿所述第一偏移。