发明名称 |
一种精密激光扫描微孔加工装置 |
摘要 |
本实用新型涉及激光加工技术领域,公开了一种精密激光扫描微孔加工装置,该加工装置包括扫描振镜外壳、振镜片、平场透镜和透射平板,其中,扫描振镜外壳的侧面和底面上分别加工有通孔,作为激光束入射孔和通光孔;外部激光束通过激光束入射孔进入到扫描振镜外壳内,经过振镜片反射后穿过通光孔,入射到平场透镜对入射激光束进行聚焦,聚焦后的激光束经过透射平板作用在待加工材料上。本实用新型中采用透射平板对聚焦光束旋转透射,从而实现聚焦光束焦点在二维平面上的微小移动,从而实现精密微孔的加工;此外通过第一透射平板和第二透射平板在小范围内的微孔加工,能提升扫描光束运动的分辨率并降低热漂移,并能够保证微孔的精确、稳定加工。 |
申请公布号 |
CN204308417U |
申请公布日期 |
2015.05.06 |
申请号 |
CN201420631075.5 |
申请日期 |
2014.10.28 |
申请人 |
大族激光科技产业集团股份有限公司 |
发明人 |
赵建涛;肖磊;杨锦彬;宁艳华;高云峰 |
分类号 |
B23K26/382(2014.01)I;B23K26/082(2014.01)I |
主分类号 |
B23K26/382(2014.01)I |
代理机构 |
北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 |
代理人 |
汪琳琳 |
主权项 |
一种精密激光扫描微孔加工装置,其特征在于:该加工装置包括扫描振镜外壳(1)、振镜片、平场透镜(7)和透射平板,其中,扫描振镜外壳(1)的侧面和底面上分别加工有通孔,作为激光束入射孔(2)和通光孔;外部激光束通过激光束入射孔(2)进入到扫描振镜外壳(1)内,经过振镜片反射后穿过通光孔,入射到平场透镜(7)对入射激光束进行聚焦,聚焦后的激光束经过透射平板作用在待加工材料上。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号 |