通过包含聚合物膜的掺杂剂掺杂基材

摘要

通过包含聚合物膜的掺杂剂掺杂基材。本文公开了一种用于掺杂基材的方法，所述方法包括在基材上设置包含含掺杂剂聚合物和非极性溶剂的组合物的涂层；在750-1300℃的温度下退火1秒至24小时，以使所述掺杂剂扩散到基材中；其中所述含掺杂剂聚合物是具有共价结合的掺杂剂原子的聚合物，所述含掺杂剂聚合物不含氮和硅；所述方法不包括在退火步骤之前在涂层上形成氧化物封盖层的步骤。

主权项

一种对基材进行掺杂的方法，该方法包括：在基材上设置组合物涂层，所述组合物包含含掺杂剂的聚合物和非极性溶剂；以及在750‑1300℃的温度对所述基材进行退火1秒至24小时，以使掺杂剂扩散到基材中；其中所述含掺杂剂的聚合物是具有共价结合的掺杂剂原子的聚合物；所述含掺杂剂的聚合物不含氮和硅；并且所述方法不包括在退火步骤之前在所述涂层上形成氧化物封盖层的步骤。