| 发明名称 | 一种加热腔室 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种加热腔室，用于加热工件，所述加热腔室包括：主腔室，所述工件能够竖直地设置在所述主腔室中；热源腔室，所述热源腔室设置于所述主腔室的至少一侧并与所述主腔室固定连接，以对所述主腔室内的工件进行加热。本发明能够对工件进行均匀加热以除去工件上吸附的水蒸气以及易挥发杂质，与现有技术相比，本发明能够使得工件的受热更加均匀，使得杂质去除更加干净，同时，避免了杂质以及有机物挥发后对工件造成的污染。此外，本发明还可以同时对多个工件的加热，显著提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104599999A | 申请公布日期 | 2015.05.06 |
| 申请号 | CN201310526264.6 | 申请日期 | 2013.10.30 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 刘红义 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种加热腔室，用于加热工件，其特征在于，所述加热腔室包括：主腔室，所述工件能够竖直地设置在所述主腔室中；热源腔室，所述热源腔室设置于所述主腔室的至少一侧并与所述主腔室固定连接，以对所述主腔室内的工件进行加热。 | ||
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号 | ||