一种MEMS传感器蘸胶装置及其应用的蘸胶方法

摘要

本发明的一种MEMS传感器蘸胶装置及其应用的蘸胶方法，所述装置包括：具有上、下表面的装载多个MEMS传感器芯片的引线框架、设有用于承载引线框架的承载部的产品放置台、上表面设有盛放胶体的储胶槽及刮去多余刮刀的蘸胶加工台、以及在所述产品放置台、蘸胶加工台之间往返移动设置的产品取放器。通过产品取放器设有的抓手结构抓取并运送所述引线框架至所述储胶槽内胶体上对其下表面蘸胶，所述产品取放器设有的压部压在已蘸胶引线框架的上表面上，使所蘸胶均匀分布。避免封装质量问题，且实现自动化作业，达到EHS安全要求。

主权项

一种MEMS传感器蘸胶装置，其特征在于，包括：具有上、下表面的引线框架，装载多个MEMS传感器芯片；产品放置台，设有供承载所述引线框架的承载部；蘸胶加工台，设有盛放胶体的储胶槽、以及用于从所述储胶槽上刮去多余胶体的刮刀；产品取放器，可在所述产品放置台与蘸胶加工台间往返移动，所述产品取放器设有用于抓取或放开所述引线框架的抓手结构，该抓手结构从所述承载部抓取所述引线框架并运送至所述储胶槽内，并设置所述引线框架于胶体上，以对所述引线框架的下表面蘸胶；所述产品取放器下端设有压部，该压部压在所述置于胶体上的引线框架的上表面。