沸石膜以及沸石膜的制造方法

摘要

提供即使在大型膜中缺陷量也少、比以往分离性能高的沸石膜的制造方法，以及按照该制造方法得到的沸石膜。是将通过水热合成形成在基材上的含有结构导向剂的沸石膜在O₂浓度为22.0vol%以上的气氛中加热，除去结构导向剂的制造方法。具体地说，包括将分散有作为晶种的沸石颗粒的悬浮液通过自重使其在基材的表面上流下，而使沸石颗粒附着于基材的颗粒附着工序，将附着有沸石颗粒的基材浸泡于溶胶中，进行水热合成，在基材上形成沸石膜的膜形成工序。

主权项

一种沸石膜设置体，包括多孔性整体式基材以及在所述整体式基材的孔格的内壁面形成的沸石膜，所述多孔性整体式基材具有多个从长度方向的一端的端面形成至另一端的端面的所述孔格，其特征在于，所述整体式基材，在O₂浓度为22.0vol％以上的气氛中加热，除去结构导向剂，使用气体透过量的标准偏差测定方法测定的在所述除去结构导向剂后的形成于所述整体式基材的长度方向的各孔格的气体透过量的标准偏差在6L/m²·s·MPa以下，所述气体透过量的标准偏差测定方法为首先将待测孔格的一端用硅酮栓封闭，将待测孔格的另一端与皂膜流量计连接后，以0.2MPa从整体式基材的外表面供给CF₄，测量从待测孔格漏出0.5cc的CF₄为止时的时间，算出CF₄的透过量，当将各孔格的气体透过量设定为x，已测定气体透过量的孔格数量设定为n时，标准偏差S通过下式求出，$S=\sqrt{\frac{n\underset{i=1}{\overset{n}{\Sigma }}{x}_i^2-{\left(\underset{i=1}{\overset{n}{\Sigma }}{x}_i\right)}^2}{n(n-1)}}.$