可变环境下微纳传感器的自动加载平台

摘要

本发明属于微纳器件标定测试的技术领域，具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台，解决了目前由于微纳器件，如压力传感器、加速度传感器等的特殊性，大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板；所述控制子系统包括温度调整装置以及湿度调整装置、温度传感器和湿度传感器、轴上倾角传感器。本发明与现有的技术相比有如下优点：满足传感器多种参数的同时或分别测试需求，解决了以往只能实现环境单一变量测试的问题，适用于复杂环境测试场合；量实现标定、测试的高精度需求。

主权项

一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台，其特征在于包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板；所述的传感器测试柜底部设置振动台，振动台上安装基板，基板上安装可相对基板升降、且可相对基板锁定的翻转台，翻转台的转动中心设置与其一体的转动轴连接转动电机，翻转台上固定若干传感器固定架；所述自动加装子系统包括可变环境加载及系统控制单元PLC、控制自动加载平台倾角的轴上步进电机、控制自动加载平台振动频率的仓壁振动电机，PLC连接PLC控制卡板，PLC控制卡板连接轴上步进电机和仓壁振动电机；所述控制子系统包括作用于传感器测试柜内部并通过PLC控制的温度调整装置以及湿度调整装置，还包括安装于传感器测试柜内部的温度传感器和湿度传感器、安装于振动台上的振动传感器以及安装于传感器固定架上的轴上倾角传感器；所述数据网栅接口设置于传感器测试柜上，数据网栅接口的数据输入口连接各传感器，数据网栅接口的数据输出口连接高精度多通道数据采集板，高精度多通道数据采集板连接PLC。