发明名称 |
电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法 |
摘要 |
本发明的电子枪异常检测装置(1),检测具备多个电子枪(3<sub>a</sub>)、(3<sub>b</sub>)、(3<sub>c</sub>)、(3<sub>d</sub>)的电磁钢板的磁畴细化装置(2)的电子枪(3)的异常,其具备:磁光元件(5),与以包括多个电子枪(3<sub>a</sub>)、(3<sub>b</sub>)、(3<sub>c</sub>)、(3<sub>d</sub>)在电磁钢板表面照射电子束而产的生磁畴不连续部(L)的边界的方式设定的检查区域(R<sub>1</sub>)、(R<sub>2</sub>)、(R<sub>3</sub>)接触或脱离而检测检查区域(R<sub>1</sub>)、(R<sub>2</sub>)、(R<sub>3</sub>)中的钢板(S)的磁畴构造作为光学特性;光源(7),在磁光元件照射直线偏振光;检测器(12),利用被磁光元件(5)转印的钢板(S)的磁畴构造,检测被旋转的偏振光。 |
申请公布号 |
CN104603610A |
申请公布日期 |
2015.05.06 |
申请号 |
CN201380046143.X |
申请日期 |
2013.09.25 |
申请人 |
杰富意钢铁株式会社 |
发明人 |
伊藤友彦;四辻淳一;高城重宏;山口广;花泽和浩;古贺泰成 |
分类号 |
G01N27/72(2006.01)I;G01R33/032(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/72(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
舒艳君;李洋 |
主权项 |
一种电子枪异常检测装置,其检测至少具备第1电子枪与第2电子枪的电磁钢板的磁畴细化装置的电子枪的异常,其特征在于,具备:磁光元件,其与检查区域接触或脱离,而检测所述检查区域中的钢板的磁畴构造作为光学特性,所述检查区域以包括所述第1电子枪向所述电磁钢板表面照射电子束而产生的磁畴不连续部与所述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式被设定;光源,其向所述磁光元件照射直线偏振光;检测器,其检测由于转印于所述磁光元件的所述钢板的磁畴构造而旋转的偏振光。 |
地址 |
日本东京都 |