半导体制程之温控系统;A TEMPERATURE CONTROLLING SYSTEM FOR A SEMICONDUCTOR PROCESS

摘要

一种半导体制程之温控系统包含一循环液调温装置、一分流制冷装置及一节能切换装置，该节能切换装置之制冷切换构件电性连接制冷机构以控制制冷机构为开启或停止制冷，其中在该循环液于该输出通道的温度经设定为高于一预设温度时该制冷切换构件控制该制冷机构停止制冷，以及在该循环液于该输出通道的温度经设定为低于一预设温度时该制冷切换构件控制该制冷机构开启制冷，减少不必要的能源浪费，达到省能的效果。