麦克风中的埋置式微型阀;EMBEDDED MICRO VALVE IN MICROPHONE

摘要

本发明提供一种微机电系统(MEMS)装置，其包括一基座。一MEMS元件安置于该基座上。一罩盖封闭该基座上之该MEMS元件。一埠延伸穿过该基座，且该MEMS元件安置于该埠上方。一膜片埋置于该基座内且具有延伸跨越该埠之至少一些部分。在一打开位置中，该膜片允许声能自该装置之外部至该装置之内部的传递。在一闭合位置中，该膜片与该埠之一外表面接触以至少部分地阻断声能自该装置之该外部至该装置之该内部的该传递。