发明名称 加工方法
摘要 本发明之课题在于提供一种可以防止伴随着加工预定线的错误检测而形成被加工物的破损的加工方法。解决手段为做成具备有下列步骤之构成:选定夹着加工预定线的第一目标型样与第二目标型样并进行储存,同时储存从第一目标型样到加工预定线的第一距离与从第二目标型样到加工预定线的第二距离之比例的教导步骤;在被加工物上分别检测出第一目标型样与该第二目标型样,并将以教导步骤所储存之比例将检测出的第一目标型样与第二目标型样间的距离进行分割而得的位置检测为加工预定线的加工预定线检测步骤;以及以加工机构沿着于加工预定线检测步骤所检测出的加工预定线进行加工的加工步骤。
申请公布号 TW201517205 申请公布日期 2015.05.01
申请号 TW103126590 申请日期 2014.08.04
申请人 迪思科股份有限公司 DISCO CORPORATION 发明人 佐脇悟志 SAWAKI, SATOSHI
分类号 H01L21/68(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 H01L21/68(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群陈文郎
主权项
地址 日本 JP
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