真空蒸镀装置用岐管

摘要

本发明提供一种提高蒸镀材料的利用效率的真空蒸镀装置用岐管。此真空蒸镀装置用岐管为一联机式真空蒸镀装置用岐管，在单一岐管(11)的与基板(12)相对的基板对置面(11a)上设置有喷嘴列(14F、14R)，喷嘴列(14F、14R)沿基板(12)的宽度方向间隔规定的喷嘴间距(P)突出设置具有喷嘴口的复数个喷出用喷嘴(13)，并且将喷嘴列(14F、14R)在基板(12)的移动方向上隔开规定的喷嘴列间隔(Lp)进行配置，基板(12)移动方向后方的喷嘴列(14R)的喷出用喷嘴(13)与基板(12)移动方向前方的喷嘴列(14F)的喷出用喷嘴(13)在基板(12)的移动方向上相对配置。