主权项 |
一种振动片,其包含:石英基板,其系将由石英之晶轴,即作为电性轴之X轴、作为机械轴之Y轴、作为光学轴之Z轴所构成的正交座标系之上述X轴作为旋转轴,将使上述Z轴以+Z侧朝向上述Y轴之-Y方向旋转之方式倾斜之轴作为Z'轴,将使上述Y轴以+Y侧朝向上述Z轴之+Z方向旋转之方式倾斜之轴作为Y'轴,且由包含上述X轴及上述Z'轴之面作为主面,将沿上述Y'轴方向作为厚度;上述石英基板包含:激振部,其具有包含沿上述X轴之一对之边及沿上述Z'轴之一对之边之外缘;及周边部,其较上述激振部之厚度薄,且沿上述激振部之上述外缘与上述激振部一体地设置;且上述激振部之沿上述X轴之侧面位于一个平面内;上述激振部之沿上述Z'轴之侧面具有阶差。
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