发明名称 搬运装置以及电子元件移载装置
摘要 提供具有优越的承载盘间的DUT移载能力之电子元件移载装置。将DUT100在承载盘110及120之间移动调换的电子元件移载装置,其包括:元件搬运装置50,其包含:固持DUT100的复数个搬运梭51;引导搬运梭51的无端状的第1引导轨道521;使搬运梭51在第1引导轨道521上移动的第1~第3传送装置53~55;搬运梭51可以在第1引导轨道521上横亘该轨道的全周移动。
申请公布号 TW201516430 申请公布日期 2015.05.01
申请号 TW104102489 申请日期 2012.11.06
申请人 阿德潘铁斯特股份有限公司 ADVANTEST CORPORATION 发明人 中嶋治希 NAKAJIMA, HARUKI;菊池裕之 KIKUCHI, HIROYUKI;山下毅 YAMASHITA, TSUYOSHI
分类号 G01R31/26(2014.01);G01R31/28(2006.01);B65G17/12(2006.01) 主分类号 G01R31/26(2014.01)
代理机构 代理人 洪澄文
主权项
地址 日本 JP