发明名称 | 酸性化学镀铜系统及其镀铜方法 | ||
摘要 | |||
申请公布号 | TWI482878 | 申请公布日期 | 2015.05.01 |
申请号 | TW101141754 | 申请日期 | 2012.11.09 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 陈友忠;李鸿坤;罗舒元;罗一玲;程子萍 |
分类号 | C23C18/40 | 主分类号 | C23C18/40 |
代理机构 | 代理人 | 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼 | |
主权项 | 一种酸性化学镀铜系统,包括:一酸性化学镀铜液,包括一铜离子水溶液、一缓冲剂和一还原剂;一工作物件,浸置于该酸性化学镀铜液,且该工作物件包括一导电材料具有一第一还原电位;和一牺牲阳极,浸置于该酸性化学镀铜液,且该牺牲阳极之材料包括锌(Zn)、铝(Al)、镁(Mg)、或前述金属之合金,并具有一第二还原电位,该牺牲阳极系电性连结于该工作物件以进行偶合,该第二还原电位系低于该第一还原电位。 | ||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |