靶材的电镀系统及其方法

主权项

一种制造靶材的电镀方法，其包含：提供一电镀液具有复数个电镀物；将一加热器直接与一待镀物连接而提供一热能；对该待镀物实施一电镀制程；以及藉由使用该加热器加热该待镀物以提升该些复数电镀物在该待镀物的表面扩散速率。