研磨垫之表面粗糙度测定方法;MEASURING METHOD OF SURFACE ROUGHNESS OF POLISHING PAD

摘要

本发明提供一种可测定显示与研磨性能密切关连性之研磨垫的表面粗糙度指标之研磨垫的表面粗糙度测定方法。一种研磨垫2之表面粗糙度的测定方法，系由以下工序构成：取得工序，其系使用雷射显微镜30取得研磨垫表面之影像；选择工序，其系从取得之影像中仅选择高度比平均高度大之区域；及算出工序，其系仅从选出之区域算出表面粗糙度。