加工设备之校正评估方法

摘要

本发明提供一种加工设备之校正评估方法，其主要于一加工件进行加工前，制作与加工件之厚度及材质相同之一测试件，并利用欲对加工件进行加工之一加工设备对测试件进行加工，且于测试件上形成一微加工结构，检视测试件上之微加工结构的状态以评估加工设备是否须进行校正，进而使加工设备对加工件进行加工时可于加工件上形成具有良好尺寸精度及形状精度之微加工结构。