模具的制造方法

主权项

一种用于制造奈米压印模具之方法，包括：在石英基板上形成具有所要图案之遮罩层；以及使用包含沈淀性气体之蚀刻气体及使用所述遮罩层作为遮罩对所述石英基板进行电浆蚀刻，以使得由所述石英基板及所述遮罩层构成的具有所要形状之突起及凹陷之图案形成，且使得由所述沈淀性气体之沈淀物构成之沈积膜沿着所述突起及凹陷之图案形成。