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发明名称 多晶矽之金属污染防止方法
摘要
申请公布号 TWI482735 申请公布日期 2015.05.01
申请号 TW099131800 申请日期 2010.09.20
申请人 德山股份有限公司 发明人 近藤学;吉村礼二
分类号 C01B33/02;B32B27/06 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人 阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种多晶矽之金属污染防止方法，系于多晶矽所接触之金属基材表面设置树脂制覆盖层，藉此防止因多晶矽与金属基材接触所导致之多晶矽之金属污染，其特征在于：重叠设置2片树脂片作为该树脂制覆盖层；使用柔软性彼此不同之树脂片作为该2片树脂片，将柔软性高之树脂片配置于下侧。
地址 日本
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